MT-100-Z70: Kleiner Messtisch mit hochauflösender Zoomoptik
Der Messarbeitsplatz MT-100-Z70 vereint das hochauflösende Optiksystem und die leistungsfähige Kameratechnik des Video-Zoom Mikroskops Z70 mit dem modularen Messtischsystem MT-100. Neben der fertigungsnahen optischen Material- und Produktprüfung eignet sich dieser Messarbeitsplatz bestens für Messungen in X-, Y- und Z-Richtung an Schichten und Strukturen.
Technische Daten
Optiksystem
Zoomkörper mit Zoomfaktor 7:1, mit und ohne Raststufen, Präzisionsfokussiertrieb mit 70 mm Hub, Objektivauswahl bestimmt Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstand (Vergrößerungen bis 800x möglich)
Kamera
Digital-/Analog-Kamera mit c-mount Adapter, 1/2″-Chip, 1/3“-Chip
Beleuchtung
LED-Ringlicht, Koaxialbeleuchtung mit Apertur- und Sehfeldblende
Messtisch
manuell oder motorisch, Reproduzierbarkeit 0,003 mm, Messbereich 100 x 100 mm (variabel anpassbar)
Software
JE.Mess , JE.Control (für motorisch verfahrbare Version)
MT-100 + Zoom70 Datenblatt
Anwendungen:
- Höhenmessung im μm-Bereich (Schicht- und Strukturdicken, Kratzer)
- Messen von Flachteilen (Wafer und Masken)
- Inspektion und Messung von Mikro- und Makrostrukturen
- Materialuntersuchungen, metallografische Untersuchungen
- Untersuchungen von Leiterplatten und Metall-Schliffproben
Vorteile
- das Optik-Mechanik-Baukastensystem ermöglicht die flexible aufgabenspezifische Anpassung des Messarbeitsplatzes
- Koaxialbeleuchtung und LED-Ringlicht sorgen für optimale Objektausleuchtung
- Messtisch MT-100 mit Linearmesssystem ermöglicht höchste Positionier- und Messgenauigkeit
- Software JE.Mess/JE.Control bietet umfangreiche Möglichkeiten zur Bildarchivierung, Dokumentation, Bearbeitung sowie eine Vielzahl an Messfunktionen
Optionen
- Fokus- und Zoomeinstellungen motorisierbar
- Auswahl zwischen verschiedenen Objektiven bestimmt Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstand
- Messtisch motorisch verfahrbar
- Messtischgröße/Messbereich wählbar
- Durchlichteinheit
- Irisblende
- Polarisationsfilter