MT-100-Z70: Kleiner Messtisch mit hochauflösender Zoomoptik

Der Messarbeitsplatz MT-100-Z70 vereint das hochauflösende Optiksystem und die leistungsfähige Kameratechnik des Video-Zoom Mikroskops Z70 mit dem modularen Messtischsystem MT-100. Neben der fertigungsnahen optischen Material- und Produktprüfung eignet sich dieser Messarbeitsplatz bestens für Messungen in X-, Y- und Z-Richtung an Schichten und Strukturen.

Technische Daten
Optiksystem

Zoomkörper mit Zoomfaktor 7:1, mit und ohne Raststufen, Präzisionsfokussiertrieb mit 70 mm Hub, Objektivauswahl bestimmt Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstand (Vergrößerungen bis 800x möglich)

Kamera

Digital-/Analog-Kamera mit c-mount Adapter, 1/2″-Chip, 1/3“-Chip

Beleuchtung

LED-Ringlicht, Koaxialbeleuchtung mit Apertur- und Sehfeldblende

Messtisch

manuell oder motorisch, Reproduzierbarkeit 0,003 mm, Messbereich 100 x 100 mm (variabel anpassbar)

Software

JE.Mess , JE.Control (für motorisch verfahrbare Version)

MT-100 + Zoom70 Datenblatt

Anwendungen:

  • Höhenmessung im μm-Bereich (Schicht- und Strukturdicken, Kratzer)
  • Messen von Flachteilen (Wafer und Masken)
  • Inspektion und Messung von Mikro- und Makrostrukturen
  • Materialuntersuchungen, metallografische Untersuchungen
  • Untersuchungen von Leiterplatten und Metall-Schliffproben

Vorteile

  • das Optik-Mechanik-Baukastensystem ermöglicht die flexible aufgabenspezifische Anpassung des Messarbeitsplatzes
  • Koaxialbeleuchtung und LED-Ringlicht sorgen für optimale Objektausleuchtung
  • Messtisch MT-100 mit Linearmesssystem ermöglicht höchste Positionier- und Messgenauigkeit
  • Software JE.Mess/JE.Control bietet umfangreiche Möglichkeiten zur Bildarchivierung, Dokumentation, Bearbeitung sowie eine Vielzahl an Messfunktionen

Optionen

  • Fokus- und Zoomeinstellungen motorisierbar
  • Auswahl zwischen verschiedenen Objektiven bestimmt Vergrößerungsbereich und Arbeitsabstand
  • Messtisch motorisch verfahrbar
  • Messtischgröße/Messbereich wählbar
  • Durchlichteinheit
  • Irisblende
  • Polarisationsfilter